申請?zhí)?專利號： 99805102 本發(fā)明提供一種腐蝕銅層的方法，該方法能夠去除希望的導(dǎo)電互連結(jié)構(gòu)的不需要的膜部分，同時避免結(jié)構(gòu)的過腐蝕和在被腐蝕銅層表面上形成侵蝕表面沾污。深腐蝕所淀積的銅層到含有填充有銅的溝槽和通道的上或“場”表面。可以利用低溫區(qū)，主要利用銅表面的物理轟擊，在襯底表面上進行銅層深腐蝕。或者，在約１５０℃的高溫區(qū)，利用三種不同的腐蝕劑，進行深腐蝕。腐蝕等離于體可以僅由非反應(yīng)氣體形成，僅由產(chǎn)生氯或氟等反應(yīng)物質(zhì)的氣體形成，或可由用于調(diào)節(jié)選擇性和腐蝕速率的非反應(yīng)氣體的組合形成。
| 申請日： | 1999年03月01日 |
| 公開日： | 2001年05月30日 |
| 授權(quán)公告日： | 2004年01月14日 |
| 申請人/專利權(quán)人： | 應(yīng)用材料有限公司 |
| 申請人地址： | 美國加利福尼亞 |
| 發(fā)明設(shè)計人： | 葉雁;D·X·馬 |
| 專利代理機構(gòu)： | 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 |
| 代理人： | 段承恩 |
| 專利類型： | 發(fā)明專利 |
| 分類號： | C23F4/00;H01L21/3213 |
以上信息僅供參考
