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    射頻反應磁控濺射制備氮化銅薄膜

    放大字體  縮小字體 發布日期：2010-06-12   作者：肖劍榮,徐 慧,劉小良,李燕峰,張鵬華,簡獻忠
    　　使用射頻反應磁控濺射法，在不同的射頻功率和氣體流量比下制備了氮化銅薄膜，并用X射線衍射儀和原子力顯微鏡對薄膜的結構進行表征。研究結果表明：薄膜呈現擇優生長規律，由低氣體流量比的Cu3N(111)晶面轉向...
     
     
     
     

     

     
     
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