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    銀基體上銅等離子體基離子注入層的成分分布

    放大字體  縮小字體 發布日期：2010-06-09   作者：于偉東,夏立芳,馬欣新,孫 躍,孫明仁
    　　研究了銀基體上銅等離子體基離子注入(CuPBII)層成分深度分布與試驗工藝參數的關系。選擇影響注入離子能量的脈沖偏壓和注入劑量的不平衡磁控靶放電電流和靶基距作為試驗參數，用X射線光電子譜(XPS)進行注入層...
     
     
     
     

     

     
     
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