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    弱堿性拋光液中銅化學機械拋光的電化學行為

    放大字體  縮小字體 發布日期：2010-06-10   作者：胡岳華,何捍衛,黃可龍
    　　在弱堿性介質里以鐵氰化鉀為鈍化劑，對銅化學機械拋光技術(CMP)過程中的電化學行為進行了在線測試。考察了銅在有無鐵氰化鉀存在下的極化行為及鐵氰化鉀濃度對腐蝕電位的影響，研究了在不同壓力下銅拋光前后的...
     
     
     
     

     

     
     
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