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    多晶銅膜納米壓入蠕變性能

    放大字體  縮小字體 發布日期：2010-06-11   作者：王 飛,徐可為
    　　在JGP560V磁控濺射鍍膜設備上鍍制多晶銅膜，利用納米壓入技術測量了其室溫下的蠕變性能。結果表明：由于不同加載方式下，材料加工硬化程度的不同造成了應力指數的差異，因而，不同加載方式對測得的銅膜蠕變應...
     
     
     
     

     

     
     
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